申请(专利)号:2.4公开(公告)日:2020-04-10申请(专利权)人:浙江博瑞电子科技有限公司摘要:本发明涉及高纯气体制备领域,具体关于一种制备ppbv级水分杂质的电子级氯化氢气体的方法;本发明方法公开的一种制备ppbv级水分杂质的电子级氯化氢气体的方法,本方法采用一种反应气体来吸收氯化氢中残存中的水,本方法中的反应气体与微量的水反应生产二氧化硅、硼酸和氢气等易于除去的组分。

文章来源：《电子科技》 网址: http://www.dzkjzz.cn/qikandaodu/2020/1225/683.html

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